MLD結合20kHz，低功率等離子體，實現聚酰亞胺薄膜沉積，較低的功率確保等離子體不會破壞聚合物分子鏈，可把沉積聚酰亞胺溫度降低到150攝氏度度左右。

同時可實現聚酰亞胺與氧化鋁薄膜雜化，可大大提高薄膜機械性能、絕緣性能、抗原子氧輻照性能、熱穩定性、水氧阻隔性能、水氧阻隔性能提高提高十幾倍。